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镓仁半导体公布氧化镓技术最新进展

目前以碳化硅、氮化镓为代表的第三代半导体已经在各个行业实现了大规模的应用。随着技术的发展,第四代半导体的方向也已经明确。在功率半导体方面,突出的表现在于超宽的带隙和大击穿场强,意味着可以承受的电压更高。代表的技术有氮化铝 (AIN)、氧化镓(Ga2O3)、金刚石(Diamond)和氮化硼(BN)。

既然已经有技术方向,后续的工作便是基于这些方向进行技术实现和工程应用。镓仁半导体便是其中的一员。

镓仁半导体的产品是氧化镓方向,当前主要提供衬底产品。

昨日,根据镓仁半导体官微公示,其首次采用垂直布里奇曼(VB)法成功生长出4英寸氧化镓单晶,同时这也是国内首次突破该技术。

镓仁半导体VB法4英寸氧化镓单晶底面

同时,本次镓仁半导体采用的是细籽晶诱导+锥面放肩生长技术。与另外一种生长技术相比,即无籽晶自发成核和等径籽晶技术相比,更容易确保晶体质量(我不懂,下次去请教)

细籽晶诱导+锥面放肩生长技术中,籽晶与晶体轴向平行于(010)氧化镓晶向,可加工4英寸010)氧化镓面衬底。

镓仁半导体所采用的细籽晶诱导+锥面放肩生长技术由来已久,在2英寸阶段,便经历了从等径籽晶生长到细籽晶诱导+锥面放肩技术生长的研发过程,最终确定了细籽晶诱导+锥面放肩的路线,实现了4英寸单晶生长的突破。

根据镓仁半导体介绍,VB法在氧化镓单晶生产方面有着显著优势。海外企业均已开始布局

当然,氧化镓最终工程化应用还需时日。镓仁半导体也提到,当前晶圆级(010)氧化镓产品主要面向科研市场。

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镓仁半导体氧化镓

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