NE时代

华鑫微纳主要从事MEMS晶圆制造，可加工产品涵盖惯性传感器、压力传感器、光MEMS器件等，主要应用于高端装备、汽车电子等领域。该项目是全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线、全国首条工艺设备配套齐全的压电MEMS量产线。全部建成投产后，将具备月产3万片晶圆的能力，成为国内产出最大的MEMS晶圆生产线。